Počet záznamů: 1
AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors
- 1.0367516 - ÚPT 2012 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Hrabina, Jan - Lazar, Josef - Klapetek, P. - Číp, Ondřej
AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors.
Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII (Proceedings of SPIE Vol. 8082). Bellingham: SPIE, 2011, 80823U:1-6. ISBN 978-0-8194-8678-3.
[Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII. Munich (DE), 23.05.2011-26.05.2011]
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LC06007; GA MŠMT 2C06012; GA MPO 2A-1TP1/127; GA MPO FT-TA3/133; GA MPO 2A-3TP1/113; GA ČR GA102/09/1276; GA ČR GA102/07/1179
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: atomic force microscopy (AFM) * nanometrology * nanoscale * nanopositioning * interferometry * abbe errors
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0202169
Počet záznamů: 1