Počet záznamů: 1
A study of plasma parameters in hollow cathode plasma jet in pulse regime
- 1.0357985 - FZÚ 2011 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
Kudrna, P. - Klusoň, J. - Leshkov, S. - Chichina, M. - Picková, I. - Hubička, Zdeněk - Tichý, M.
A study of plasma parameters in hollow cathode plasma jet in pulse regime.
Contributions to Plasma Physics. Roč. 50, č. 9 (2010), s. 886-891. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986
Grant CEP: GA ČR GA202/09/0800
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: thin-films * system * deposition * RF * nitride
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 1.006, rok: 2010
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0196140
Počet záznamů: 1