Počet záznamů: 1  

A study of plasma parameters in hollow cathode plasma jet in pulse regime

  1. 1.
    0357985 - FZÚ 2011 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
    Kudrna, P. - Klusoň, J. - Leshkov, S. - Chichina, M. - Picková, I. - Hubička, Zdeněk - Tichý, M.
    A study of plasma parameters in hollow cathode plasma jet in pulse regime.
    Contributions to Plasma Physics. Roč. 50, č. 9 (2010), s. 886-891. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986
    Grant CEP: GA ČR GA202/09/0800
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
    Klíčová slova: thin-films * system * deposition * RF * nitride
    Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    Impakt faktor: 1.006, rok: 2010
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0196140
     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.