Počet záznamů: 1
Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide
- 1.0343204 - FZÚ 2011 RIV RO eng J - Článek v odborném periodiku
Novotný, Michal - Bulíř, Jiří - Pokorný, Petr - Bočan, Jiří - Fitl, Přemysl - Lančok, Ján - Musil, Jindřich
Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide.
Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Roč. 12, č. 3 (2010), 697-700. ISSN 1454-4164. E-ISSN 1841-7132
Grant CEP: GA AV ČR IAA100100718; GA AV ČR KAN400100653; GA ČR GP202/09/P324
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: reactive magnetron sputtering * alumina * plasma spectroscopy * mass spectroscopy * optical emission spectroscopy
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Impakt faktor: 0.412, rok: 2010
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0005901
Počet záznamů: 1