Počet záznamů: 1
Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation
- 1.0043825 - ÚPT 2007 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
Frgala, Z. - Jašek, O. - Karásková, M. - Zajíčková, L. - Buršíková, V. - Franta, D. - Matějková, Jiřina - Rek, Antonín - Klapetek, P. - Buršík, Jiří
Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation.
[Depozice nanokystalického diamantu metodou mikrovlnného PECVD s nukleací pomocí rf predpětí.]
Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 56, Suppl. B (2006), s. 1218-1223. ISSN 0011-4626
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA202/05/0607
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511; CEZ:AV0Z20410507
Klíčová slova: nanocrystalline diamond * plasma enhanced chemical vapor deposition * self-bias
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 0.568, rok: 2006
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0003707
Počet záznamů: 1