Počet záznamů: 1  

Surface stoichiometry and depth profile of Ti.sub.x./sub.-Cu.sub.y./sub.N.sub.z./sub. thin films deposited by magnetron sputtering

  1. SYS0552187
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20231122150313.7
    014
      
    $a 85108311702 $2 SCOPUS
    014
      
    $a 000667019900001 $2 WOS
    017
      
    $a 10.3390/ma14123191 $2 DOI
    100
      
    $a 20220121d m y slo 03 ba
    101
      
    $a eng
    102
      
    $a CH
    200
    1-
    $a Surface stoichiometry and depth profile of Tix-CuyNz thin films deposited by magnetron sputtering
    215
      
    $a 14 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0378436 $1 011 $e 1996-1944 $1 200 1 $a Materials $v Roč. 14, č. 12 (2021) $1 205 $a ONLINE $1 210 $c MDPI
    610
      
    $a magnetron sputtering
    610
      
    $a Ti-Cu-N coating
    610
      
    $a N incorporation
    610
      
    $a X-ray photoelectron spectroscopy
    610
      
    $a X-ray diffraction
    610
      
    $a transmission electron microscopy
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0422668 $a Mukhopadhyay $b A.K. $y IN
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0052829 $a Roy $b A. $y IN
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0422669 $a Bhattacharjee $b G. $y IN
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0422670 $a Das $b S.C. $y IN
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0422671 $a Majumdar $b A. $y IN
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0257508 $a Wulff $b H. $y DE
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0375512 $a Hippler $b Rainer $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $y DE $z K $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    856
      
    $u http://hdl.handle.net/11104/0327392 $9 RIV
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.