Počet záznamů: 1
Contamination of magnetron sputtered metallic films by oxygen from residual atmosphere in deposition chamber
SYS 0449004 LBL 02957^^^^^2200421^^^450 005 20240103210934.3 014 $a 000354622600002 $2 WOS 014 $a 84929512249 $2 SCOPUS 017 70
$a 10.1002/ppap.201400172 $2 DOI 100 $a 20151022d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a Contamination of magnetron sputtered metallic films by oxygen from residual atmosphere in deposition chamber 215 $a 6 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0420447 $1 011 $a 1612-8850 $e 1612-8869 $1 200 1 $a Plasma Processes and Polymers $v Roč. 12, č. 5 (2015), s. 416-421 $1 210 $c Wiley 610 0-
$a contamination 610 0-
$a low-pressure discharges 610 0-
$a magnetron 610 0-
$a metallic films 610 0-
$a sputtering 700 -1
$3 cav_un_auth*0100459 $a Pokorný $b Petr $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100398 $a Musil $b Jindřich $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0252234 $a Fitl $b Přemysl $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1