Počet záznamů: 1  

High-rate reactive deposition of transparent SiO.sub.2./sub. films containing low amount of Zr from molten magnetron target

  1. SYS0437497
    LBL
      
    01991^^^^^2200337^^^450
    005
      
    20240103205330.7
    014
      
    $a 000284499500039 $2 WOS
    014
      
    $a 77958493833 $2 SCOPUS
    017
    70
    $a 10.1016/j.tsf.2010.09.009 $2 DOI
    100
      
    $a 20141212d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a CH
    200
    1-
    $a High-rate reactive deposition of transparent SiO2 films containing low amount of Zr from molten magnetron target
    215
      
    $a 3 s.
    300
      
    $a není v KD 12/12/2014
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0257662 $1 011 $a 0040-6090 $e 1879-2731 $1 200 1 $a Thin Solid Films $v Roč. 519, č. 2 (2010), s. 775-777 $1 210 $c Elsevier
    610
    0-
    $a sputtering
    610
    0-
    $a evaporation
    610
    0-
    $a reactive deposition
    610
    0-
    $a target power density
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0100398 $a Musil $b Jindřich $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0311500 $a Satava $b V. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0038743 $a Baroch $b P. $y CZ $4 070
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.