Počet záznamů: 1  

Variable shape E-beam writing: proximity effect simulation and correction of binary and relief structures

  1. SYS0429463
    LBL
      
    02397^^^^^2200397^^^450
    005
      
    20200403135416.9
    100
      
    $a 20140709d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng $d eng
    102
      
    $a GB
    200
    1-
    $a Variable shape E-beam writing: proximity effect simulation and correction of binary and relief structures
    215
      
    $a 1 s. $c P
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0429464 $1 200 1 $a 39th International Conference on Micro and Nano Engineering MNE2013. Book of Abstracts $v S. 582 $1 210 $a Cambridge $c University of Cambridge $d 2013
    610
    0-
    $a rectangular shaped beam
    610
    0-
    $a proximity effect simulation
    610
    0-
    $a binary structures and relief structures
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $o D2: Speciální technologie $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $o D2: Speciální technologie $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $o D2: Speciální technologie $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $o D2: Speciální technologie $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $o D2: Speciální technologie $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0276061 $a Bok $b Jan $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $4 070 $o D1: Elektronová mikroskopie $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $o D2: Speciální technologie $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258664 $a Mikšík $b P. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258665 $a Vašina $b J. $y CZ $4 070
Počet záznamů: 1