Počet záznamů: 1  

Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology

  1. SYS0366031
    LBL
      
    01923^^^^^2200337^^^450
    005
      
    20240103195723.3
    014
      
    $a 000294764800031 $2 WOS
    014
      
    $a 80051703947 $2 SCOPUS
    017
      
    $a 10.1088/0957-0233/22/9/094030 $2 DOI
    100
      
    $a 20111101d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng $d eng
    102
      
    $a GB
    200
    1-
    $a Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology
    215
      
    $a 8 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0257234 $1 011 $a 0957-0233 $e 1361-6501 $1 200 1 $a Measurement Science and Technology $v Roč. 22, č. 9 (2011), 094030:1-8 $1 210 $c Institute of Physics Publishing
    610
    0-
    $a atomic force microscopy (AFM)
    610
    0-
    $a nanometrology
    610
    0-
    $a nanopositioning interferometry
    610
    0-
    $a nanoscale
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0222152 $a Hrabina $b Jan $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0221074 $a Klapetek $b P. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101538 $a Číp $b Ondřej $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.