Počet záznamů: 1
In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film
SYS 0361263 LBL 02654^^^^^2200385^^^450 005 20240103195348.6 014 $a 000289550100001 $2 WOS 017 $a 10.1117/1.3543816 $2 DOI 100 $a 20110727d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a US 200 1-
$a In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film 215 $a 10 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0344630 $1 011 $a 1934-2608 $1 200 1 $a Journal of Nanophotonics $v Roč. 5, č. 5 (2011), "051503-1"-"051503-10" $1 210 $c SPIE - International Society for Optical Engineering 610 0-
$a aluminum ultrathin film 610 0-
$a magnetron sputtering 610 0-
$a in-situ monitoring 610 0-
$a electrical conductivity 610 0-
$a spectral ellipsometry 610 0-
$a optical emission spectroscopy 700 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100459 $a Pokorný $b Petr $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0266872 $a Bodnár $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1