Počet záznamů: 1
Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs
SYS 0359582 LBL 02609^^^^^2200421^^^450 005 20240103195200.4 014 $a 000288610800020 $2 WOS 017 $a 10.1002/ctpp.201000065 $2 DOI 100 $a 20110516d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs 215 $a 9 s. 300 $a CEZ:MSM0021620834 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0256454 $1 011 $a 0863-1042 $e 1521-3986 $1 200 1 $a Contributions to Plasma Physics $v Roč. 51, 2-3 (2011), s. 237-245 $1 210 $c Wiley 610 0-
$a time-resolved plasma diagnostics 610 0-
$a optical emission spectroscopy 610 0-
$a Langmuir probe 610 0-
$a magnetron sputtering 700 -1
$3 cav_un_auth*0272069 $a Straňák $b V. $y DE $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0272070 $a Drache $b S. $y DE $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0224595 $a Hippler $b R. $y DE $4 070
Počet záznamů: 1