Počet záznamů: 1  

Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs

  1. SYS0359582
    LBL
      
    02609^^^^^2200421^^^450
    005
      
    20240103195200.4
    014
      
    $a 000288610800020 $2 WOS
    017
      
    $a 10.1002/ctpp.201000065 $2 DOI
    100
      
    $a 20110516d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a DE
    200
    1-
    $a Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs
    215
      
    $a 9 s.
    300
      
    $a CEZ:MSM0021620834
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0256454 $1 011 $a 0863-1042 $e 1521-3986 $1 200 1 $a Contributions to Plasma Physics $v Roč. 51, 2-3 (2011), s. 237-245 $1 210 $c Wiley
    610
    0-
    $a time-resolved plasma diagnostics
    610
    0-
    $a optical emission spectroscopy
    610
    0-
    $a Langmuir probe
    610
    0-
    $a magnetron sputtering
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0272069 $a Straňák $b V. $y DE $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0272070 $a Drache $b S. $y DE $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0224595 $a Hippler $b R. $y DE $4 070
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.