Počet záznamů: 1
Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide
SYS 0343204 LBL 02140^^^^^2200349^^^450 005 20240418122219.8 014 $a 000277827900057 $2 WOS 014 $a 77950638049 $2 SCOPUS 100 $a 20100521d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a RO 200 1-
$a Optical emission and mass spectroscopy of plasma processes in reactive DC pulsed magnetron sputtering of aluminium oxide 215 $a 4 s. 300 $a DOI nezjištěno 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0255635 $1 011 $a 1454-4164 $e 1841-7132 $1 200 1 $a Journal of Optoelectronics and Advanced Materials $v Roč. 12, č. 3 (2010), 697-700 $1 210 $c NATL INST OPTOELECTRONICS 610 0-
$a reactive magnetron sputtering 610 0-
$a alumina 610 0-
$a plasma spectroscopy 610 0-
$a mass spectroscopy 610 0-
$a optical emission spectroscopy 700 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100459 $a Pokorný $b Petr $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0254426 $a Bočan $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0252234 $a Fitl $b Přemysl $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100398 $a Musil $b Jindřich $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1