Počet záznamů: 1  

Conjugated Silicon–Based Polymer Resists for Nanotechnologies: EB and UV Meditated Degradation Processes in Polysilanes

  1. SYS0341918
    LBL
      
    01907^^^^^2200301^^^450
    005
      
    20240103193407.5
    014
      
    $a 000276538900001 $2 WOS
    017
    7-
    $a 10.2320/matertrans.MC200925 $2 DOI
    100
      
    $a 20100408d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng $d eng
    102
      
    $a JP
    200
    1-
    $a Conjugated Silicon–Based Polymer Resists for Nanotechnologies: EB and UV Meditated Degradation Processes in Polysilanes
    215
      
    $a 5 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0255972 $1 011 $a 1345-9678 $e 1347-5320 $1 200 1 $a Materials Transactions $v Roč. 51, č. 2 (2010), s. 197-201 $1 210 $c Japan Institute of Metals and Materials
    610
    0-
    $a ultra violet degradability
    610
    0-
    $a polysilylenes
    610
    0-
    $a weak bond
    610
    0-
    $a conformation defect
    610
    0-
    $a nanorezists
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0014601 $a Schauer $b F. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101616 $a Schauer $b Petr $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0017458 $a Kuřitka $b I. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258053 $a Hua $b B. $y CN $4 070
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.