Počet záznamů: 1  

Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers

  1. 1.
    BOK, J., KOLAŘÍK, V., HORÁČEK, M., MATĚJKA, M., MATĚJKA, F. Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers. Journal of Vacuum Science & Technology B. 2013, 31(3), 031603:1-6. ISSN 1071-1023. Dostupné z: doi: 10.1116/1.4802920
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.