Počet záznamů: 1
AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors
- 1.HRABINA, J., LAZAR, J., KLAPETEK, P., ČÍP, O. AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors. In: Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII (Proceedings of SPIE Vol. 8082). Bellingham: SPIE, 2011, 80823U:1-6. ISBN 978-0-8194-8678-3. Dostupné z: doi: 10.1117/12.889544
Počet záznamů: 1