Počet záznamů: 1  

Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes

  1. 1.
    MATĚJKA, Milan, CHLUMSKÁ, Jana, KRÁTKÝ, Stanislav, ŘIHÁČEK, Tomáš, KNÁPEK, Alexandr, KOLAŘÍK, Vladimír. Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes. In: Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. Amman: Jordan University of Science & Technology, 2019.
Počet záznamů: 1