Způsob diagnostiky plazmatu s vyloučením měření narušených nestabilitami a přechodovými jevy v plazmatu a zařízení k provádění tohoto způsobu

0486986 - FZÚ 2018 RIV cze P - Patentový dokument
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Jastrabík, Lubomír - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Způsob diagnostiky plazmatu s vyloučením měření narušených nestabilitami a přechodovými jevy v plazmatu a zařízení k provádění tohoto způsobu.
[A method of plasma diagnosis, excluding measurements disturbed by instabilities and transient phenomena in plasma, and a device for implementing this method.]
2017. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Datum udělení patentu: 29.11.2017. Číslo patentu: 307104
Grant CEP: GA ČR GA16-22092S
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: deposition plasma * exclusion of measurements disturbed by instabilities in plasma * Langmuir probe
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10234698&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=

Způsob diagnostiky plazmatu s vyloučením měření narušených nestabilitami v plazmatu je realizován měřicím systémem propojeným s plazmochemickým reaktorem , s Langmuirovou sondou ,s řídicím a měřicím blokem , počítačem a generátorem spouštěcích impulzů. Stav diagnostikovaného plazmatu je na výstupu z referenční a výbojové elektrody nepřetržitě sledován a vyhodnocován ve vloženém blokovacím obvodu pomocí filtrace a tvarování vstupních signálů z referenční a výbojové elektrody , zachycující časové změny napětí ve výboji. Při zjištění vzniku nestabilit v plazmatu jsou spouštěcí impulzy vysílané z generátoru do řídicího a měřicího bloku zablokovány do okamžiku ustálení nestabilit v plazmatu. Načež je obnoveno propouštění spouštěcích impulzů do řídicího a měřicího bloku. Podstatou vynálezu je i konstrukce zařízení k realizaci tohoto způsobu diagnostiky plazmatu.

The method of plasma diagnostics, excluding measurement disturbed by instability in plasma, is accomplished by a measuring system connected to a plasma-chemical reactor into which a Langmuir probe with a control and measuring block, a computer, and a trigger pulse generator is introduced. The state of the diagnosed plasma is continuously monitored and evaluated at the output from the reference and discharge electrodes in the interlocking circuit by filtering and shaping the input signals from the reference and discharge electrodes, capturing the time changes of the voltage in the discharge. When instability is detected in a plasma cell, trigger pulses transmitted from the generator to the control and measurement block are blocked until the steady state of the plasma stabilizes. The release of trigger pulses is then restored to the control and measurement block. It is also an object of the invention to provide a device for implementing this method of plasma diagnostics.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0281691