Počet záznamů: 1  

Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

  1. 1.
    ŠMÍD, Jiří, HUBIČKA, Zdeněk, STRAŇÁK, Vítězslav, CHURPITA, Olexandr, ČADA, Martin, JASTRABÍK, Lubomír, OLEJNÍČEK, Jiří, BABCHENKO, Oleg, KROMKA, Alexander, POTOCKÝ, Štěpán, LUKAŠÍK, P., PIJÁK, A., DOLÁK, J., MARTINEK, P., PITRUN, J., REK, Š., KONEČNÝ, L., MAREŠ, G., ŠTEPÁNEK, J., JAKEŠ, J., KŘENEK, Z., JOŠTIC, M. Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01. 50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o., 2011. Funkční vzorek PST1/FZÚ-SVCS/2011.
Počet záznamů: 1