Počet záznamů: 1
Dělič svazku pro DUV oblast
- 1.
SYSNO 0602561 Název Dělič svazku pro DUV oblast Překlad názvu Beam splitter in DUV region Tvůrce(i) Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorný, Pavel (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Venos, Š. (CZ)
Úlehla, L. (CZ)Vyd. údaje 2024 Poddruh Funkční vzorek Int.kód APL–2024-11 Technické parametry Fázový difrakční optický element připravený v materiálu fused silica sloužící jako mnohonásobný dělič svazku pro DUV oblast. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D., kratky@isibrno.cz. Název vlastníka Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Druh dok. Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TN02000020 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova beam splitter * diffractive optical element * e-beam lithography * reactive ion etching Trvalý link https://hdl.handle.net/11104/0359785
Počet záznamů: 1