Počet záznamů: 1
In-beam tracking refractometry for coordinate interferometric measurement
- 1.
SYSNO ASEP 0434169 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název In-beam tracking refractometry for coordinate interferometric measurement Tvůrce(i) Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Optical Micro- and Nanometrology V. (Proceedings of SPIE 9132). - Bellingham : SPIE, 2014 - ISSN 0277-786X Rozsah stran 91321k: 1-7 Poč.str. 7 s. Forma vydání Online - E Akce Optical Micro- and Nanometrology /5./ Datum konání 15.04.2014-17.04.2014 Místo konání Brussels Země BE - Belgie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova refractometry ; refractive index ; interferometers ; laser interferometry ; lasers ; scanning probe microscopy Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy EE2.4.31.0016 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TA01010995 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000345034500051 EID SCOPUS 849023685378 DOI https://doi.org/10.1117/12.2052920 Anotace We propose to extend the principle of compensation of the fluctuations of the refractive index of air through monitoring the optical length within the measuring range of the displacement measuring interferometer. The concept is derived form a tracking refractometry evaluating the refractive index of air in the beam axis coinciding with the positioning interferometer. Application of this approach in multi-axis positioning and measurement mans to compromise the principle of spatial unity of the displacement measuring laser beam and the beam of the tracking refractometer. In this contribution we evaluate the level of uncertainty associated with the spatial shift of these two beams. Consequently the nature of the fluctuations of the refractive index of air in laser interferometry is investigated and discussed with the focus on potential applications in coordinate measuring systems and long-range metrological scanning probe microscopy systems. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2015
Počet záznamů: 1