Počet záznamů: 1
Quality assessment of scintillation detector in SEM using MFT
- 1.
SYSNO ASEP 0386386 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Quality assessment of scintillation detector in SEM using MFT Tvůrce(i) Bok, Jan (UPT-D) RID
Schauer, Petr (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 2 Zdroj.dok. Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 / Mika F. - ISBN 978-80-87441-07-7 Rozsah stran s. 9-10 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./ Datum konání 25.06.2012-29.06.2012 Místo konání Skalský dvůr Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova scintillation detector in SEM ; modulation transfer function ; e-beam scanning speed Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GAP102/10/1410 GA ČR - Grantová agentura ČR EE.2.3.20.0103 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace One of the recent trends in S(T)EM is increasing of the e-beam scanning speed. In general, higher speeds decrease object degradation and prevent image artifacts caused by slow electrical discharging. However, the increase of the scanning speed is limited by the time response of the segnal-electron detector. When the detector response is slower than the scanning speed, it can have negative influence to the quality of the scanned image, such as contrast reduction and image blurring. Usually, the rise and fall edges of the time response curve to a square electron pulse have more complex form, such as a multi-exponential function of time. Evaluate and compare the time-dependent edges in contex of their influence on the image quality is rather complicated. Therefore, we propose to express the detector time response by the modulation transfer function (MTF), which contains all relevant information. It can give the answer to the important question, what maximum scanning speed can be used not to significantly decrease the image quality. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2013
Počet záznamů: 1