Počet záznamů: 1
Microwave plasma chemical vapour deposition of nanocrystalline diamond films
- 1.0134355 - FZU-D 20030253 RIV IT eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Popov, C. - Jelínek, Miroslav - Bulíř, Jiří - Kulich, W.
Microwave plasma chemical vapour deposition of nanocrystalline diamond films.
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry /16./. Roma: xx, 2003, s. ISPC-014-1 - ISPC-014-5.
[International Symposium on Plasma Chemistry /16./. Taormina (IT), 22.06.2003-27.06.2003]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: nanocrystalline diamond films * microwave plasma chemical vapour deposition
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Nanocrystalline diamond films have been prepared by microwave plasma chemical vapour deposition from methan/nitrogen mixtures and the influence of the gas phase composition on the properties of the deposited films was investigated.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0032260
Počet záznamů: 1