Počet záznamů: 1
Problems of PLD hybrid technique for CN.sub.x./sub. films creation
SYS 0133476 LBL 00000nam^^22^^^^^^^^450 005 20200403114354.5 010 $a 0-8197-4120-1 101 0-
$a eng 102 $a US 200 1-
$a Problems of PLD hybrid technique for CNx films creation 215 $a 5 s. 463 -1
$1 011 $a 0277-786X $1 200 1 $a Laser Physics and Applications $v s. 285-289 $1 210 $a Bellingham $c SPIE $d 2001 $1 225 1 $a Proceedings of SPIE. $v 4397 $1 702 1 $a Atanasov $b P. A. $4 340 $1 702 1 $a Cartaleva $b S. $4 340 610 1-
$a hybrid deposition 610 1-
$a carbon nitride 610 1-
$a radiofrequency discharge 610 1-
$a hollow cathode discharge 700 -1
$3 cav_un_auth*0100260 $a Jelínek $b Miroslav $p FZU-D $w Optical and Biophysical Systems $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1