Study of RF discharge properties for hybrid pulsed laser deposition

Počet záznamů: 1

SYSNO ASEP	0133469
Druh ASEP	K - Konferenční příspěvek (lokální konf.)
Zařazení RIV	Stať ve sborníku
Název	Study of RF discharge properties for hybrid pulsed laser deposition
Tvůrce(i)	Novotný, M. (CZ) Jelínek, Miroslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Bulíř, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Zelinger, Zdeněk (UFCH-W)_{RID, ORCID} Lančok, Ján (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Proceedings of Workshop 2001, A. - Praha : Czech Technical University, 2001 s. 114-115
Poč.str.	2 s.
Akce	Workshop 2001
Datum konání	00.02.2001
Místo konání	Praha
Země	CZ - Česká republika
Typ akce	CST
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	CN₂ ; pulsed laser deposition ; activation of nitrogen
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	IAA1010110 GA AV ČR - Akademie věd
	LN00A015 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z1010914 - FZU-D
Anotace	We have created CN_{x layers by pulsed laser deposition (PLD) using graphite target in N}2 ambient and KrF excimer laser. We have found that active nitrogen plays an important role in this task. We have studied the influence of various RF parameters on the activation of nitrogen by optical emission spectroscopy.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2002

Počet záznamů: 1