Investigation of the thermal stability of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films

Počet záznamů: 1

SYSNO	0133320
Název	Investigation of the thermal stability of nitrogen-rich amorphous carbon nitride films
Tvůrce(i)	Kulisch, W. (DE) Popov, C. (DE) Zambov, L. M. (DE) Bulíř, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Delplancke-Ogletree, M. P. (BE) Lančok, Ján (FZU-D)_{RID, ORCID} Jelínek, Miroslav (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Thin Solid Films. 377-378, - (2000), s. 148-155. - : Elsevier
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
CEZ	AV0Z1010914 - FZU-D
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	NL
Klíč.slova	carbon nitride * annealing * pulsed laser deposition * inductively coupled plasma chemical vapour deposition
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0031297

Počet záznamů: 1