Počet záznamů: 1
Low pressure radio frequency and microwave dischanges for d.c. sputtering of ferromagnetic materials
- 1.
SYSNO ASEP 0133285 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Low pressure radio frequency and microwave dischanges for d.c. sputtering of ferromagnetic materials Tvůrce(i) Musil, Jindřich (FZU-D) RID, ORCID
Mišina, Martin (FZU-D)Zdroj.dok. Czechoslovak Journal of Physics. - : Springer - ISSN 0011-4626
Roč. 50, č. 6 (2000), s. 785-794Poč.str. 10 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP GV106/96/K245 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z1010914 - FZU-D Anotace This paper discribes a d.c. diode sputtering system in which the sputtering discharge is sustained by an r.f. or microwave plasma excited with a helix coil surrounded vy eight SmCo nagnets. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2002
Počet záznamů: 1