Počet záznamů: 1  

Low pressure radio frequency and microwave dischanges for d.c. sputtering of ferromagnetic materials

  1. 1.
    SYSNO ASEP0133285
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JOstatní články
    NázevLow pressure radio frequency and microwave dischanges for d.c. sputtering of ferromagnetic materials
    Tvůrce(i) Musil, Jindřich (FZU-D) RID, ORCID
    Mišina, Martin (FZU-D)
    Zdroj.dok.Czechoslovak Journal of Physics. - : Springer - ISSN 0011-4626
    Roč. 50, č. 6 (2000), s. 785-794
    Poč.str.10 s.
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CZ - Česká republika
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    CEPGV106/96/K245 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z1010914 - FZU-D
    AnotaceThis paper discribes a d.c. diode sputtering system in which the sputtering discharge is sustained by an r.f. or microwave plasma excited with a helix coil surrounded vy eight SmCo nagnets.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2002

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.