Počet záznamů: 1  

Anisotropic carrier transport in preferentially oriented polycrystalline silicon films fabricated by very-high-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition using fluorinated source gas

  1. 1.
    Nakahata, K., Kamiya, T., Fortmann, C. M., Shimizu, I., Stuchlíková, H., Fejfar, A., Kočka, J. Anisotropic carrier transport in preferentially oriented polycrystalline silicon films fabricated by very-high-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition using fluorinated source gas. Journal of Non-Crystalline Solids. 2000, 266-269(-), 341-346. ISSN 0022-3093. E-ISSN 1873-4812.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.