Počet záznamů: 1
Energy and mass spectroscopy studies during triode ion plating of TiN films in two different layouts
- 1.0132840 - FZU-D 20000094 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Maček, M. - Navinšek, B. - Panjan, P. - Kadlec, Stanislav - Wouters, S. - Quaeyhaegens, C. - Statls, L. M.
Energy and mass spectroscopy studies during triode ion plating of TiN films in two different layouts.
Surface and Coatings Technology. Roč. 113, - (1999), s. 149-156. ISSN 0257-8972. E-ISSN 1879-3347
Grant CEP: GA ČR GV106/96/K245
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Impakt faktor: 1.008, rok: 1999
Plasma properties are compared in two triode ion-plating systems using a low-voltage arc discharge. The systems differ in the configuration of the chamber and magnetic field.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0030837
Počet záznamů: 1