Inductively-coupled-plasma assisted planar magnetron discharge for enhanced ionization of sputtered atoms

Počet záznamů: 1

SYSNO	0132071
Název	Inductively-coupled-plasma assisted planar magnetron discharge for enhanced ionization of sputtered atoms
Tvůrce(i)	Setsuhara, Y. (JP) Kamai, M. (JP) Miyake, S. (JP) Musil, Jindřich (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Japanese Journal of Applied Physics. Roč. 36, 7B (1997), s. 4568-4571. - : Institute of Physics Publishing
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	JP
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0030109

Počet záznamů: 1