Počet záznamů: 1  

Depth inhomogenity of deposited thin films: Applications to semi-insulating polycrystalline silicon films

  1. 1.
    Kučírková, A., Navrátil, K., Zemek, J. Depth inhomogenity of deposited thin films: Applications to semi-insulating polycrystalline silicon films. Thin Solid Films. 1998, 323(-), 53-58. ISSN 0040-6090. E-ISSN 1879-2731.

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.