Plasma diagnostics by energy-resolved mass spectroscopy of ions during triode ion plating of TiN films

Počet záznamů: 1

SYSNO	0131624
Název	Plasma diagnostics by energy-resolved mass spectroscopy of ions during triode ion plating of TiN films
Tvůrce(i)	Kadlec, Stanislav (FZU-D)_ORCID Maček, M. (SI) Wouters, S. (BE) Navinšek, B. (SI) Paujan, P. (SI) Quaeyhaegeis, C. (BE) Stals, L. M. (BE)
Zdroj.dok.	International Congres on Plasma Physics. s. 2805-2808 / Pavlo P.. - Praha : European Physics Society, 1998
Konference	Conference on Controlled Fusion and Plasma Physics /25./ (1998 ICPP), Praha, 29.06.1998-03.07.1998
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	GV106/96/K245 GA ČR - Grantová agentura ČR
	HTECH.CRG970529, XX
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0029682

Počet záznamů: 1