Low-pressure magnetron sputtering and selfsputtering discharges

Počet záznamů: 1

SYSNO	0131149
Název	Low-pressure magnetron sputtering and selfsputtering discharges
Tvůrce(i)	Kadlec, Stanislav (FZU-D)_ORCID Musil, Jindřich (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Vacuum. Roč. 47, - (1996), s. 307-311. - : Elsevier
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	GB
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0029234

Počet záznamů: 1