Počet záznamů: 1
The collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons in SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0109031 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název The collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons in SEM Překlad názvu Sběrová účinnost Everhart-Thornley-ho detektoru sekundárních elektronů v REM Tvůrce(i) Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCIDZdroj.dok. EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress, 1 - Instrumentation & Methodology.. - Liege : Belgian Society for Microscopy, 2004 Rozsah stran s. 79-80 Poč.str. 2 s. Akce EMC 2004 /13./ European Microscopy Congress Datum konání 22.08.2004-27.08.2004 Místo konání Antwerp Země BE - Belgie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. BE - Belgie Klíč. slova scanning electron microscopy ; collection efficiency ; secondary electrons Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP IAA1065304 GA AV ČR - Akademie věd Anotace The Everhart-Thornley (ET) type detector is widely used in SEM for the collection of secondary electrons (SE). At first glance the electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts, might be thought to attract all SE of a kinetic energy below 50 eV or at least near the SE spectrum peak at 1 - 3 eV. However, the detection quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found to be significantly lower than one. The DQE depends heavily on the collection efficiency (CE), i.e. the proportion of emitted species that impact on the detector. Preliminary simulations of electron trajectories indicated CE values for the ET detector even below 10 % for small working distances and more detailed results are reported here Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2005
Počet záznamů: 1