Počet záznamů: 1
Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD
- 1.VANĚK, J., ČECH, V., PŘIKRYL, R., ZEMEK, Josef, PEŘINA, Vratislav. Basic characteristics of the a-SiOC:H thin films prepared by PE CVD. Czechoslovak Journal of Physics. 2004, 54(Suppl. C), C937-C942. ISSN 0011-4626.
Počet záznamů: 1