Počet záznamů: 1
Výpočet aberačních koeficientů regresí a jejich využití při výpočtu proudové hustoty svazků
- 1.
SYSNO ASEP 0028804 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Výpočet aberačních koeficientů regresí a jejich využití při výpočtu proudové hustoty svazků Překlad názvu Computation of aberration coefficients by fitting and their use for calculation of current density in beams Tvůrce(i) Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI Zdroj.dok. Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 50, č. 2 (2005), s. 49-51Poč.str. 3 s. Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova scanning ion microscope ; electron optics ; spot profiles Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP KJB2065405 GA AV ČR - Akademie věd Anotace Článek popisuje postup výpočtu aberačních koeficientů regresí. Podmínkou k výpočtu je dostupnost analytického vyjádření optických vad, které se vyžívá nejen při samotné regresi, ale i následně pro rychlý výpočet poloh částic za optickým systémem, například pro získání profilů svazků. Metoda je ilustrována na výpočtu proudové hustoty ve vychýleném svazku iontů. Překlad anotace The paper describes a method of calculation of aberration coefficients by regression (fitting). A prerequisite for the calculation is knowledge of an analytical expression of optical aberrations, which is used not only for fitting, but also for a fast computation of particle positions behind an optical system, e. g. for evaluation of a beam profile. The method is illustrated on computation of current density profiles in a deflected ion beam. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2006
Počet záznamů: 1
