Počet záznamů: 1  

Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje

  1. 1.
    ProjektVýzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
    Název projektuTF03000025
    PoskytovatelGA TA ČR
    Doba řešení2016 - 2019
    Příjemce projektu Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    (Spolu)řešitel projektu Čada
    Katal.org.CAV
    Odkazy (1) - Prototyp, funkční vzorek
    (1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
    SouborProjekty
Počet záznamů: 1