Počet záznamů: 1
Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response
- 1.
SYSNO ASEP 0570231 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Optical emission spectroscopy analysis of microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition systems dynamic gas response Tvůrce(i) Lambert, Nicolas (FZU-D) ORCID, RID
Sung, Kil-dong (FZU-D)
Mortet, Vincent (FZU-D) RID, ORCIDCelkový počet autorů 3 Číslo článku 2200322 Zdroj.dok. Physica Status Solidi A : Applications and Materials Science. - : Wiley - ISSN 1862-6300
Roč. 220, č. 4 (2023)Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova diamond growth ; dynamic gas response ; microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD) ; optical emission spectroscopy (OES) Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA21-03538S GA ČR - Grantová agentura ČR Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000847920600001 EID SCOPUS 85137227241 DOI 10.1002/pssa.202200322 Anotace Microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD) is widely used for the growth of synthetic doped diamond for electronic and electrochemical applications. Recent results have shown the possible enhancement of phosphorus incorporation using the pulsed gas injection growth method. It is therefore important to understand the dynamics of precursor gases to optimize the dopants incorporation in diamond. In this work, the dynamic response of different gases (N-2, CH4, and O-2) impulses in hydrogen plasma is studied in two different MWPECVD reactors: a lab made NIRIM type reactor, and a commercial reactor made by Seki Diamond Systems. These reactors of different volumes are operated at different pressure and total gas flow. The time responses to the precursor gas injection are recorded by optical emission spectroscopy. Experimental time responses are fitted using an impulse response equation. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2024 Elektronická adresa https://doi.org/10.1002/pssa.202200322
Počet záznamů: 1