Počet záznamů: 1
Effect of FIB milling on NiTi films and NiTi/Si micro-bridge sensor
- 1.
SYSNO ASEP 0533159 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Effect of FIB milling on NiTi films and NiTi/Si micro-bridge sensor Tvůrce(i) Vokoun, David (FZU-D) RID, ORCID
Kadeřávek, Lukáš (FZU-D) ORCID
Balogová, Jarmila (FZU-D) ORCID
Fekete, Ladislav (FZU-D) RID, ORCID
Landa, Michal (UT-L) RID
Drahokoupil, Jan (FZU-D) RID, ORCID
Němeček, J. (CZ)
Heller, Luděk (FZU-D) RID, ORCIDCelkový počet autorů 8 Číslo článku 015001 Zdroj.dok. Smart Materials and Structures. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0964-1726
Roč. 29, č. 1 (2020), s. 1-10Poč.str. 10 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova NiTi film ; Xe FIB ; MEMS ; AFM ; resonant ultrasound spectroscopy ; sensor fabrication Vědní obor RIV JG - Hutnictví, kovové materiály Obor OECD Materials engineering Vědní obor RIV – spolupráce Ústav termomechaniky - Hutnictví, kovové materiály CEP GA17-05360S GA ČR - Grantová agentura ČR GA18-03834S GA ČR - Grantová agentura ČR GA17-05360S GA ČR - Grantová agentura ČR LO1409 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy LM2015088 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 ; UT-L - RVO:61388998 UT WOS 000499407300001 EID SCOPUS 85081063030 DOI 10.1088/1361-665X/ab4e0c Anotace Resonance based mass sensors are able to sense tiny fractions of grams based on the resonant frequency shift of a resonator when the resonator is subjected to changes in attached mass or temperature. In our work, NiTi/Si micro-bridge with a design of tunable resonance based sensor was fabricated using Xe plasma FIB. Before fabricating the micro-bridge, an influence of various Xe FIB currents on the transformational behavior of NiTi films was tested. In the other part of the present study, the effect of temperature on the vibrating NiTi/Si micro-bridge was examined in a broad range of frequencies. It is suggested that the NiTi film can work as a frequency tuning element in resonance based mass sensors. The shift of the first resonant frequencies of NiTi/Si bilayer micro-bridge with the length, width, thickness and the NiTi/Si thickness ratio being 200 μm, 40 μm, 5.8 μm and 0.29, respectively, is up to 7 % with temperature ranging from 25°C to 100°C during heating up.
Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2021 Elektronická adresa https://doi.org/10.1088/1361-665X/ab4e0c
Počet záznamů: 1