0536664 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk - Konvalina, Ivo - Materna Mikmeková, Eliška - Sýkora, Jiří
Držák vzorku pro elektronově indukované čištění v REM.
[Specimen holder for the electron induced cleanning in SEM.]
Interní kód: APL-2020-11 ; 2020
Technické parametry: Funkční vzorek stolku preparátu pro rastrovací prozařovací mikroskopii s extrémně pomalými elektrony tvoří kapsle preparátu s vloženým preparátem, nosné rameno z nevodivého materiálu, držák ramene, upravený vozík stolku a přívod vysokého potenciálu. Výsledek byl realizován pro ověření elektronově optických vlastností rekonstruovaného stolku preparátu pro mikroskop Magellan 400L, v rámci programu Národního centra kompetence - projekt Centrum elektronové a fotonové optiky.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ilona Müllerová, DrSc., ilona@isibrno.cz
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: electron microscopy * scanning electron microscopy * scanning transmission electron microscopy * extremely slow electrons * specimen stage
Obor OECD: Electrical and electronic engineering

Funkční vzorek je rekonstrukcí stolku sériově vyráběného pro rastrovací elektronový mikroskop Magellan 400L firmy Thermo Fisher Scientific. Nosné rameno přenášející preparát od vozíku motorizovaného výměnného systému vakuové propusti k optické ose mikroskopu bylo vytvořeno pro optimální zformování elektrostatického pole vytvořeného nad i pod preparátem jeho vysokým záporným potenciálem tak, aby nedocházelo k deformaci úhlového rozložení odražených i prošlých signálních elektronů a zejména aby nedocházelo k ovlivňování stopy svazku a geometrie zorného pole rastrovaného obrazu při nejnižších energiích primárních elektronů. Nevodivé nosné rameno je v rozsáhlém okolí optické osy překryto osově symetrickou elektrodou, vysoký potenciál je ke vzorku přiváděn tenkým skrytým vodičem, kapsle preparátu je upravena pro jeho snadnější výměnu a samotný vozík výměnného systému je tvarově redukován bez ovlivnění funkce výměny odebráním materiálu směrem od optické osy.

Functional sample consists of a reconstructed stage delivered as a part of the scanning electron microscope Magellan 400L by Thermo Fisher Scientific, Inc. The supporting bracket carrying the specimen from the carriage of the loading system of the air-lock toward the optical axis of the microscope has been optimized to form the electrostatic field generated above and below the specimen by its high negative potential so that any deformation of the angular distribution of reflected as well as transmitted signal electrons is avoided and, in particular, the beam spot and geometry of the viewfield of the scanned image at lowest energies of primary electrons is not influenced. A non-conducting supporting bracket is hidden below an axially symmetric electrode to an extended distance from the axis, high potential is led to the sample with a thin hidden conductor, the specimen capsule is modified for facilitated replacement of the specimen and conducting material of the proper carriage of the loading system is partly removed from vicinity of the optical axis without influencing the loading process.

Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0314400