Počet záznamů: 1
Study of plasma in hybrid PLD system for CN.sub.x./sub. films creation
- 1.0104234 - FZU-D 20040576 RIV CZ eng K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Novotný, Michal - Jelínek, Miroslav - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Zelinger, Zdeněk
Study of plasma in hybrid PLD system for CNx films creation.
[Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CNx vrstev.]
Optické komunikace. Praha: TechMarket, Praha, 2002, s. 124-125.
[Workshop O.K. 2002. Praha (CZ), 01.10.2002-05.10.2002]
Grant CEP: GA AV ČR IAA1010110
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: CN x films * hybrid PLD system
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have used OES
Byl vyvinut nový hybridní PLD systém (kombinace PLD s přídavným radiofrekvenčným výbojem) pro zvýšení koncentrace aktivního dusíku v plasmě a následně poměru N:C v připravených vrstvách. Pro studium plasmy a procesů v ní byla použita metoda OES
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0011509
Počet záznamů: 1