Počet záznamů: 1
Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu
- 1.0100037 - FZU-D 20040013 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Mates, Tomáš - Fejfar, Antonín - Drbohlav, Ivo - Rezek, Bohuslav - Fojtík, Petr - Luterová, Kateřina - Pelant, Ivan - Kočka, Jan
Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu.
[Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon.]
Československý časopis pro fyziku. Roč. 53, - (2003), s. 93-96. ISSN 0009-0700
Grant CEP: GA AV ČR IAA1010809; GA AV ČR IAB2949101
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: PECVD * microcrystalline silicon * AFM
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0007545
Počet záznamů: 1
