Počet záznamů: 1  

Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu

  1. 1.
    0100037 - FZU-D 20040013 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Mates, Tomáš - Fejfar, Antonín - Drbohlav, Ivo - Rezek, Bohuslav - Fojtík, Petr - Luterová, Kateřina - Pelant, Ivan - Kočka, Jan
    Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu.
    [Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon.]
    Československý časopis pro fyziku. Roč. 53, - (2003), s. 93-96. ISSN 0009-0700
    Grant CEP: GA AV ČR IAA1010809; GA AV ČR IAB2949101
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
    Klíčová slova: PECVD * microcrystalline silicon * AFM
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0007545
     

Počet záznamů: 1  

Metadata v repozitáři ASEP jsou licencována pod licencí CC0.

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.