0028804 - ÚPT 2006 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Oral, Martin
Výpočet aberačních koeficientů regresí a jejich využití při výpočtu proudové hustoty svazků.
[Computation of aberration coefficients by fitting and their use for calculation of current density in beams.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 50, č. 2 (2005), s. 49-51. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) KJB2065405
Klíčová slova: scanning ion microscope * electron optics * spot profiles
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

Článek popisuje postup výpočtu aberačních koeficientů regresí. Podmínkou k výpočtu je dostupnost analytického vyjádření optických vad, které se vyžívá nejen při samotné regresi, ale i následně pro rychlý výpočet poloh částic za optickým systémem, například pro získání profilů svazků. Metoda je ilustrována na výpočtu proudové hustoty ve vychýleném svazku iontů.

The paper describes a method of calculation of aberration coefficients by regression (fitting). A prerequisite for the calculation is knowledge of an analytical expression of optical aberrations, which is used not only for fitting, but also for a fast computation of particle positions behind an optical system, e. g. for evaluation of a beam profile. The method is illustrated on computation of current density profiles in a deflected ion beam.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0118711