Počet záznamů: 1  

STEM detector in SEM

  1. 1.
    0502126 - ÚPT 2019 NL eng A - Abstrakt
    Konvalina, Ivo - Paták, Aleš - Materna-Mikmeková, Eliška - Müllerová, Ilona
    STEM detector in SEM.
    FEELIS-III. Amsterdam: ARCNL, 2018. s. 55-56.
    [LEELIS-III. Low Energy Elwctrons: Lithography, Imaging and Soft Matter. 12.11.2018-13.11.2018, Amsterdam]
    Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TE01020118; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: STEM * SEM
    Obor OECD: Electrical and electronic engineering

    Nowadays, scanning electron microscopes (SEM) are commonly equipped with technique for svanning transmission electron microscopy (STEM). The segmented semiconductor STEM detector in the Magellan 400 FEG SEM microscope is used to detect transmitted electrons (TEs).
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0294115

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.