Základní sestava interferometru

0438947 - ÚPT 2015 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Lazar, Josef - Holá, Miroslava - Kršek, Jiří - Šarbort, Martin - Hrabina, Jan - Čížek, Martin
Základní sestava interferometru.
[Basic interferometer setup.]
Interní kód: APL-2014-12 ; 2014
Technické parametry: Frekvenční stabilita laseru: 10e-8, rozlišení: 0,2 nm
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení.
Grant CEP: GA TA ČR TA02010711
Klíčová slova: interferometry * metrology
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery

Základní konfigurace interferometru pro průmyslová měření a pro nanometrologii byla zvolena v uspořádání pro měření odrazem od rovinného zrcadla. Je to proto, že je vhodná pro použití ve víceosých souřadnicových měřicích systémech, kam aplikovaný výzkum a vývoj interferometrických systémů koncepčně primárně směřuje. Celková základní sestava zahrnuje stabilizovaný laserový zdroj koherentního záření, řídicí elektroniku laseru, homodyní detekční systém, elektroniku zpracování signálu, jednotku pro kompenzaci vlivu indexu lomu a software.

The basic configuration of the interferometer for industrial metrology and nanometrology was chosen in a setup for measurement through reflection from a plane-mirror. It is suitable for multiaxis coordinate measuring systems where the aplied research and development of the interferometric systems leads. The overall basic setup includes stabilized laser source of a coherent radiation, control electronics of the laser, homodyne detection system, electronics for the signal processing, unit for compensation of the influence of the refractive index of air and software.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0242290