Počet záznamů: 1  

Studium chování proudění vzduchu přes délkový šum při interferometrickém měření

  1. 1.
    0434549 - ÚPT 2015 RIV CZ cze C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Holá, Miroslava
    Studium chování proudění vzduchu přes délkový šum při interferometrickém měření.
    [Study of behavior of the refractive index fluctuations to the lenght noise in displacement interferometry.]
    Sborník příspěvků multioborové konference Laser54. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2014, s. 16-17. ISBN 978-80-87441-13-8.
    [Laser54. Třešť (CZ), 29.10.2014-31.10.2014]
    Grant CEP: GA ČR GB14-36681G; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: interferometry * refractive index of air * nanometrology
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

    Měřit s nanometrovou přesností je v posledních deseti letech klíčová výzva, které se objevila v oblasti metrologie délky. Mezinárodní projekt s názvem „NANOTRACE“, který sdružuju renomované laboratoře EU, se snažil prolomit limity rozlišení v laserové interferometrii. Metody, které byly zkoumané, prokázaly, že lze dosáhnout významného zlepšení v rozlišení laserové interferometrie. Navrhované nanometrologické systémy si kladou za cíl zvýšit rozlišení a najít cesty, jak potlačit zdroje nejistot v měření a to do subnanometrové oblasti. Za předpokladu měření v atmosféře patří fluktuace indexu lomu vzduchu mezi největší zdroje nejistot při interferometrickém měření. Měření polohy v omezeném rozsahu je typické pro souřadnicové měřící systémy. V nanometrologii je takovým standardem mikroskop skenující sondou s přesným odměřováním polohy. Proto jsme se rozhodli rozšířit koncept kompenzace fluktuací indexu lomu vzduchu přes sledování optické délky uvnitř měřícího rozsahu interferometru měřícího vzdálenost. Námi navržený systém je kombinací refraktometru spolu s interferometrem kde v prvním případě vyhodnocujeme úroveň nejistoty délkového šumu dvou měřících svazků, který představuje fluktuace indexu lomu vzduchu. A v druhém případě jsme se zabývali změnami indexu lomu (délkového šumu) v závislosti na změně měřícího ramene.

    Nanoscale measurement became one of the key challenges in the field of metrology in last ten years. The international project launched called “Nanotrace” where renowned EU laboratories including the proposer of this project were trying to break the limits of resolution in interferometry. Techniques investigated here have proven that there are chances to achieve significant improvements in resolution of laser interferometry. Measurement of position within a limited range is typical for coordinate measuring system such as nanometrology standards combining scanning probe microscopy (SPM) with precise positioning. In this contribution we evaluate the level of uncertainty associated with spatial shift of two measuring beams and spatial shift of one measuring beam (change of length the measuring beam). Consequently the nature of the fluctuations of the refractive index of air in laser interferometry is investigated anddiscussed with the focus on potential applications in coordinate measuring systems and long-range metrological scanning pro microscopy systems.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0238711

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.