Počet záznamů: 1  

Charakterizace teplotní závislosti materiálů s nízkým teplotním koeficientem roztažnosti vhodných pro konstrukci nanometrologických mikroskopů

  1. 1.
    0385759 - ÚPT 2013 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Číp, Ondřej - Šmíd, Radek - Čížek, Martin - Mikel, Břetislav - Lazar, Josef - Buchta, Zdeněk
    Charakterizace teplotní závislosti materiálů s nízkým teplotním koeficientem roztažnosti vhodných pro konstrukci nanometrologických mikroskopů.
    [Characterization of thermal properties of materials with a low coefficient of thermal expansion suitable for the construction of nanometrological microscopes.]
    Jemná mechanika a optika. Roč. 57, č. 10 (2012), s. 292-294. ISSN 0447-6441
    Grant CEP: GA ČR GAP102/10/1813; GA ČR GPP102/11/P819; GA ČR(CZ) GPP102/12/P962; GA MŠMT ED0017/01/01
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: optical resonator * coefficient of thermal expansion * optical frequency synthesizer
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

    Mezi materiály s nízkým koeficientem teplotní roztažnosti v současnosti patří speciální sklokeramiky a skla. Jejich koeficienty teplotní roztažnosti se pro vybrané teplotní rozsahy pohybují až kolem nulové hodnoty. Tyto materiály jsou velmi žádány pro konstrukci rámů a dílčích částí nanoposuvných stolů pro metrologické mikroskopy atomárních sil nebo pro mikroskopy elektronové, kde se vyžaduje mimořádná stabilita polohovacího stolu po dobu jedné periody skenování vzorku. Vyrobené vzorky nízkoexpanzních materiálů však často mohou mít hodnotu tohoto koeficientu velmi rozdílné, a to i v rámci jedné výrobní série, což vyžaduje určení hodnoty tohoto parametru před jejich konstrukčním použití. V této práci představujeme novou měřící metodu, která umožňuje zjistit změnu délky opracovaného dílu nízkoexpanzního materiálu v závislosti na teplotě s rozlišením pod úrovní desetiny nanometru. Díky použití femtosekundového syntezátoru optických frekvencíjsme schopni měřit délkové změny v rozsahu délek až několik mikrometrů.

    Recent special glass ceramics and special glasses belong to materials with low coefficient of thermal expansion. Their coefficient of thermal expansion for selected temperature ranges moves up to around zero. These materials are in great demand for the construction of frames and sub-parts of nano-positioning tables for metrological atomic force microscopes or electron microscopes that require excellent stability of the positioning table for one scan of the sample period. Samples produced low-expansion materials, however, they can often have the value of this coefficient very different, even within a single production run, which requires a determination of this parameter value before their intended use. In this paper we present a new measuring method which allows determining the thermal length expansion with a resolution below one tenth of a nanometer. Through the use of femtosecond optical frequency synthesizer we are able to measure changes in the range of lengths up to several micrometers.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0215567

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.