0385753 - ÚPT 2013 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Krzyžánek, Vladislav
Měření hmotnosti pomocí elektronového mikroskopu.
[Mass measurements using electron microscope.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 57, č. 10 (2012), s. 275-277. ISSN 0447-6441
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: REM * SEM * RTEM * STEM * quantitative measurements * dark-field
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Rastrovací elektronový mikroskop(REM) je známý zejména pro zobrazování a studium povrchu vzorků, ale po vhodné kalibraci lze jeho funkci riozšířit o kvantitativní měření, kterému se věnuje tento článek. Přidané využití REMu je demonstrováno na měření lokální tloušťky velmi tenkých vzorků pomocí prstencového detektoru temného pole. Vhodnými objekty v tomto případě jsou např. tenké filmy, nanočástice, makromolekulární komplexy, u kterých se tímto způsobem dá měřit celková hmotnost, rozložení hmotnosti na jednotku délky v případě vlíken, či na jednotku plochy v případě již zmíněných tenkých vrstevnatých preparátů. Kromě toho se dá tato metoda aplikovat absolutně, t.j.bez nutnosti použití jakýchkoli standardů tlouštěk, respektivě hmotnosti.

Scanning electron microscope (SEM) has been used for imaging and analysis of sample surfaces. However, a well calibrated SEM can also be used for quantitative measurements that are described in this contribution. We demonstrate that the extended SEM can be used for measurement of local thickness of very thin samples using an annular dark-field detector. Samples of interest for such measurements can be, for example, thin films, nanoparticles, macromolecular complexes where it is possible to measure mass per length in the case of filamentous structures or mass per area in case of layers. In addition, this technique can be applied to the absolute measurement without the need of any thickness or mass standards.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0215574