Počet záznamů: 1  

Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev

  1. 1.
    0383946 - FZÚ 2013 RIV cze P1 - Užitný vzor, průmyslový vzor
    Hubička, Zdeněk - Dejneka, Alexandr - Čada, Martin - Adámek, Petr - Jastrabík, Lubomír - Suchaneck, G. - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán - Straňák, Vítězslav
    Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev.
    [Plasma system developed for deposition of perovskite thin films.]
    2012. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v.v. i. Datum udělení vzoru: 21.05.2012. Číslo vzoru: 23845
    Grant CEP: GA ČR GC202/09/J017; GA TA ČR TA01010517; GA ČR(CZ) GAP205/11/0386
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
    Klíčová slova: plasma * magnetron sputtering * plasma-jet * PZT thin films
    Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
    http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0023/uv023845.pdf

    Technické řešení spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých perovskitových, a to dielektrických, piezoelektrických i ferroelektrických, vrstev s využitím plazmochemických reakcí a pulzním ohřevem substrátu. Týká se konstrukce systému zejména pro realizaci depozice tenkých nanokrystalických vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 (dále vrstev PZT) za nízké teploty na polymerový substrát nebo na polymerový substrát s kovovou elektrodou.

    The technical solution falls within the technological processes of deposition of thin perovskite, especially dielectric, piezoelectric and ferroelectric, films using plasma-chemical reactions and pulsed heating of the substrate. This applies especially for system design for implementation of deposition of thin films of nanocrystalline Pb (ZrxTi1-x)O3 (further PZT layers) at low temperature on the polymer substrate or on a polymer substrate with a metal electrode.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0213731
     
Počet záznamů: 1