Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony

0336643 - ÚPT 2010 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Klein, Pavel
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony.
[Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons.]
Interní kód: 5511-2 ; 2009
Technické parametry: Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
Ekonomické parametry: Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: UHV specimen stage * surface analysis
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Funkční vzor manipulátoru vzorku je určen pro ultravysokovakuový rastrovací mikroskop s pomalými elektrony, vybavený tzv. katodovou čočkou, která přivádí na preparát vysoký potenciál. Tím jsou dopadající elektrony brzděny na libovolně nízkou energii dopadu. Preparát je jednou z elektrod katodové čočky a proto musí být k dispozici extrémně přesné vyrovnání rovnoběžnosti aktivního povrchu vzorku s anodou katodové čočky pomocí dvou jemně ovladatelných, nezávislých náklonů vzorku v navzájem kolmých rovinách. Manipulátor umožňuje dosáhnout zobrazení vzorku při libovolně nízké energii elektronů s vysokým rozlišením.

The function sample of the specimen stage is intended for an ultrahigh vacuum scanning microscope with slow electrons, equipped with so called cathode lens biasing the specimen to a high potential. In this way the incident electrons are retarded to an arbitrarily low energy of impact. The specimen represents one electrode of the cathode lens so an extremely precise balancing of parallelism of its surface with respect to the anode of the cathode lens is necessary by means of two finely controllable, independent specimen tilts in mutually perpendicular planes is necessary. The specimen stage enables one to image the specimen at arbitrarily low energy of electrons at high resolution.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0180832