Počet záznamů: 1
Epitaxní růst z kapalné fáze
- 1.0324565 - FZÚ 2009 RIV CZ cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Nohavica, Dušan
Epitaxní růst z kapalné fáze.
[Liquid phase epitaxy.]
Škola růstu krystalů 2008. Praha: Československá společnost pro růst krystalů, 2008 - (Nitsch, K.; Rodová, M.), s. 1-13. ISBN 978-80-254-2651-7.
[Škola růstu krystalů. Hnanice-Znojmo (CZ), 01.09.2008-02.09.2008]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
Klíčová slova: liquid phase epitaxial growth * dislocations * stacking faults
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Poměrně rozsáhlá přednáška shrnuje základní aspekty přípravy epitaxních vrstev z kapalné fáze (LPE), s důrazem ne deposici polovodičů. Jsou uvedeny způsoby dosažení maximální reprodukovatelnosti růstového procesu a účinnosti deposice. Důraz je rovněž kladen na rozbor mechanizmů tvorby dislokací v epitaxních vrstvách.
Extended lecture collects mojority aspect of the "Liquid Phase Epitaxy", LPE, with special attention to the semiconductors growth. Methods of growth modifications enabling to increase growth reproduction and deposition efficiency are included. Also dislocations generation by different mechanisms is discussed in the article.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0172225
Počet záznamů: 1